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關于氧化鋁靶材性能,制備方法及其應用介紹

日期:2022-07-25 瀏覽:593

氧化鋁靶材圖片


氧化鋁靶材也稱為三氧化二鋁靶材,其純度99.99%,密度9.7g/cm3,是一種可根據需求定制的材料。它的折射率為0.17~9Ц,性能上適合于電子槍蒸發,能夠形成光滑致密的膜層,具有很好的抗化學腐蝕能力。


氧化鋁靶材特征

氧化鋁靶材形狀:平面靶、異型定制

氧化鋁靶材純度:4N

氧化鋁靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制

我們還可以提供氧化鋁顆粒、氧化鋁粉末、氧化鋁陶瓷件等


氧化鋁靶材制備工藝

選擇粒徑1-5um的球形α-Al2O3粉為原料,將原料粉末裝入石墨模具中;

對裝模后粉末進行加熱和增壓處理,加熱溫度選擇1500℃之一,壓力保持50MPa不變;

通過真空或惰性氣體保護的粉末成型氣氛的條件,制備高致密濺射靶材半成品;

對半成品進行加工處理,確保所有平面保持平整,得到所需要的氧化鋁靶材。


氧化鋁靶材


氧化鋁靶材應用

半導體制造:用于制造集成電路中的絕緣層和導電層,對提高芯片性能至關重要。

光學涂層:用于制造反射鏡和防護涂層,提高光學設備的耐用性和性能。

表面工程:在工業刀具和機械零件上應用,以提高耐磨性和耐腐蝕性。

微電子器件:如晶體管和電容器中的絕緣層,確保電子設備的穩定運行。

光學元件:如相機鏡頭和望遠鏡的反射鏡,增強成像質量。

硬質涂層:應用于工業刀片和鉆頭,延長其使用壽命。


氧化鋁其他應用

耐火材料:氧化鋁具有很高的熔點和化學穩定性,常用于制造各種耐火材料,如耐火磚、澆注料、搗打料等,用于冶金、化工、建材等行業的高溫爐窯。

結晶形態:氧化鋁有多種結晶形態,如α-Al2O3、β-Al2O3、γ-Al2O3等。其中,α-Al2O3是常見的形式,具有很高的硬度和耐磨性,廣泛應用于研磨、拋光等領域。

砂輪和磨具:氧化鋁是砂輪和磨具的主要磨料之一,具有較高的硬度和耐磨性,適用于金屬、玻璃、陶瓷等材料的磨削和拋光。

陶瓷材料:氧化鋁是陶瓷材料的重要組成部分,用于制備陶瓷基板、陶瓷刀具、陶瓷軸承等,具有高硬度、高耐磨性和良好的絕緣性能。

涂料和顏料:氧化鋁用于制備各種涂料和顏料,具有良好的耐候性和遮蓋力,應用于建筑、家具、塑料等行業。

納米材料:氧化鋁可用于制備納米材料,如納米氧化鋁粉體、納米氧化鋁透明薄膜等,具有獨特的物理和化學性能,應用于電子、光學、催化等領域。

氧化鋁靶材:氧化鋁靶材用于物理氣相沉積(PVD)過程中的濺射靶材,應用于電子、光學、薄膜等領域。

吸附劑和催化劑:氧化鋁具有豐富的孔道結構和高比表面積,可用作吸附劑和催化劑,應用于石油、化工、環保等領域。


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